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鋁合金退火爐的兩種熱源的介紹以及選擇

發(fā)布時(shí)間:2019/2/26 15:24:48    來(lái)源:oxdz.cn    作者:丹陽(yáng)市電爐廠有限公司
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鋁合金退火爐的熱源之一:燈光加熱
這樣的加熱方式是由上下兩個(gè)專用的燈管組或者是單面燈泡構(gòu)成加熱源,,加熱燈形狀以及數(shù)目因廠家和被處理的工件尺寸而定,硅片位于雙面加熱燈中間或者是單面燈的下方進(jìn)行快速加熱,。因?yàn)檫@樣的裝置是線狀或者是點(diǎn)狀光源構(gòu)成的面光源,,為了達(dá)到均勻的加熱效果,對(duì)每個(gè)燈管的一致性要求很高,。
鋁合金退火爐的兩種熱源的介紹以及選擇
鋁合金退火爐的熱源之二:高頻感應(yīng)加熱
在石英腔體外纏繞線圈,,在石英腔體里面放置平行的石墨加熱板。當(dāng)向線圈里面通入高頻電壓的時(shí)候,,在線圈的周邊就會(huì)產(chǎn)品高頻的電磁場(chǎng),,而位于高頻交變電磁場(chǎng)里面的石墨板受到感應(yīng)后發(fā)熱就會(huì)成為熱源,由此對(duì)腔體里面的硅片進(jìn)行熱處理退火,�,?偟膩�(lái)說(shuō),這種方式雖然制作以及維護(hù)成本比較低,,但是因?yàn)槭逶诟袘?yīng)時(shí)候的熱遲滯性,,以及停止加熱時(shí)候的熱慣性,會(huì)讓溫度控制響應(yīng)速度變慢,,溫度控制精度在技術(shù)上面很難得到保證,,并且高頻電磁輻射如果控制不當(dāng)?shù)脑挘瑫?huì)很容易對(duì)周圍的環(huán)境造成電磁污染,。
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